Auteur
OULEDDAHMANE, A
Directeur de thèse
N.HAMDADOU
Co-directeur
N.MEKKAKIA MMAZA
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
CRATERISATION DE LA GRAVURE HUMIDE DU SILICIUM POUR DES APPLICATIONS MEMS
Mots clés
GRAVURE SILICIUM MEMS
Date de soutenance
03/05/2012
Cote
TH/02/60
Pagination
68
Format
21/30
Statut
Soutenue