Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université d’Oran1 - Ahmed Ben Bella
Affiliation
Département de Physique
Auteur
ADDA, Habib
Directeur de thèse
Bouizem Yahya (Professeur)
Filière
Science des matériaux
Diplôme
Magister
Titre
Dépôt et caractérisation optique du silicium nanocristallin
Mots clés
Silicium nanocristallin, transmission optique, ellipsométrie, spectroscopie infrarouge
Résumé
Des couches minces de silicium nanocristallin sont déposées par pulvérisation cathodique radio fréquence dans une atmosphère d’argon et d’hydrogène dans différentes conditions de pression, de dilution et de températures. Le matériau ainsi obtenu est caractérisé par différentes techniques, essentiellement optiques. Il s’agit d’élucider et de comprendre la corrélation pouvant exister entre ces conditions de dépôt et la structure du matériau
Statut
Validé