Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université d’Oran1 - Ahmed Ben Bella
Affiliation
Département de Physique
Auteur
TAMACHA, Nasreddine
Directeur de thèse
KHELIL A.
Filière
Science des matériaux
Diplôme
Magister
Titre
Caractérisation des couches minces de nitrure de titane obtenus par P.V. D. diagnostic du plasma
Mots clés
TiN; Couches minces; Pulvérisation magnétron (PVD); Contraintes;Recuit thermique; Usure et microdéroulage.
Résumé
Les méthodes les plus récentes pour augmenter la durée de vie des outils et pour améliorer la finition des pièces revêtues sont les dépôts de couches minces. Ces méthodes trouvent des applications toujours croissantes et des avantages significatifs à leurs utilisateurs. La première partie de cette étude a été consacrée à la caractérisation du plasma par une sonde de Langmuir ; Potentiel flottant, potentiel plasma, température électronique, densité électronique, densité ionique et longueur de Debye. Dans la seconde partie de cette étude des couches minces de TiN ont été élaborées par pulvérisation magnétron. L’influence de différents paramètres a été corrélée avec la structure cristalline, cette étude a été complétée par d’autres analyses ; Recuit thermique, test d’usure et microdéroulage d’outils revêtus de TiN.
Date de soutenance
2008
Cote
TH2615
Pagination
141F.
Illusatration
ILL. EN COUL
Format
30 cm
Notes
BIBLIOG.RESUME ET MOTS CLES.
Statut
Soutenue