Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Tlemcen - Abou Bekr Belkaid
Affiliation
Département de Physique
Auteur
BOUAYAD AGHA, Bouchra Khayra
Directeur de thèse
Mme BENSAOULA Amaria (Professeur)
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
Contribution à technologie et propriétés de transport dans les couches épaisses de silicium poreux. Microsystème thermique pour la mesure de la Microcirculation sanguine
Mots clés
Silicium monocristallin, silicium poreux, anodisation, conductivité thermique, spectroscopie Raman, technologie semiconducteur, microsystème, microcirculation sanguine.
Résumé
L’irrigation ou microcirculation sanguine tissulaire est le paramètre de choix qui caractérise la fonction principale du réseau microcirculatoire. La mesure de la microcirculation sanguine dans des volumes actifs de quelques mm3 offre un large champ d’applications dans le domaine de la physiologie, de la neurologie et de la pharmacologie. La mesure localisée de la conductivité thermique des tissus explorés est particulièrement adaptée à la quantification de ce paramètre. Dans le cas des mesures thermiques, il est nécessaire de minimiser la conductance thermique entre les zones de mesure et de référence du micro-dispositif afin de détecter la plus petite élévation de température. Le silicium méso-poreux, obtenu par attaque électrochimique du silicium monocristallin, présente une conductivité thermique proche de celle de l’oxyde de silicium et environ 150 fois plus petite que celle du silicium monocristallin. C’est donc un excellent candidat pour assurer l’isolation thermique des sondes en SiP tout en garantissant la stabilité mécanique de la micro-structure. Une méthode d’anodisation pulsée, double face du silicium a été mise au point afin d’obtenir des couches de silicium poreux épaisses et homogènes en profondeur permettant d’anodiser toute l’épaisseur du substrat. Ce travail de recherche nous a permis de mettre au point une d’une technologie de fabrication de sondes en Silicium poreux afin de mesurer la conductivité thermique tissulaire et les différentes voies de leur intégration fonctionnelle.
Statut
Signalé