Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Tlemcen - Abou Bekr Belkaid
Affiliation
Département de Physique
Auteur
FAKIRI, Souhila
Directeur de thèse
RAHMOUN Khadidja (Professeur)
Filière
Energétique
Diplôme
Magister
Titre
CARACTÉRISATION DES COUCHES ET MULTICOUCHES DE DIFFÉRENTS TYPES DE SILICIUM POREUX OXYDE
Mots clés
Silicium poreux,oxydation, caractérisation, modélisation ,simulation.
Résumé
Contexte : l’utilisation du silicium poreux(PS) dans plusieurs applications est basée sur la possibilité de modifier ses constantes optiques en fonction de la porosité. Les couches de PS avec différentes porosités, peuvent être obtenues en faisant varier la densité de courant, le dopage du substrat de silicium, les conditions d’illumination pendant la formation, et la température. Le Ps peut être utilisé comme couche antireflet dans les cellules solaires, guides d’ondes, résonateurs et filtres interférentiels. Le PS spécialement pour les fortes porosités, est un matériau instable ; l’instabilité de ses paramètres optiques peut être résolue par l’oxydation. Différentes techniques d’oxydation sont possibles. L’intérêt du silicium poreux oxydé est qu’il possède des propriétés proches de celles d’un oxyde : faible constante diélectrique et isolation électrique. Sur ces critéres, le silicium poreux oxydé est meilleur que le silicium poreux. Le silicium poreux oxydé présentera des caractéristiques diélectriques améliorées, ce qui devrait être profitable d’un point de vue performances électriques et fiabilité. Travaille demandé : Etude théorique : modélisation des caractéristiques (optique, thermique, mécanique) et corrélation Modélisation des couches et multicouches : modèle des milieux effectifs, modèle des fractales Etude expérimentale : l’étude se portera essentiellement sur l’oxydation partielle ou totale du silicium méso poreux, macroporeux et nano poreux avec différentes épaisseurs. Des multicouches peuvent aussi être préparés avec les mêmes techniques. Caractérisation morphologique : les caractéristiques optiques, électriques, thermiques et mécaniques sont à étudier particuliérement les caractéristiques mécanique par micro et nanoindentation. En pritique nous utilisons trois types d’indenteurs, l’indendeur Berkovich pyramidal à base triangulaire, l’indenteur Vickers pyramidal à base carrée( et l’indenteur sphérique),, pour cela un microindenteur CSM instruments ou autre est pris en main. Simulation du comportement mécanique, utilisation des codes ANSYS ou CASTEM.
Statut
Validé