Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri
Affiliation
Département Electrique
Auteur
ANNANE, Samia
Directeur de thèse
LAGHROUCHE Mourad (Maitre de conférence)
Filière
Electronique
Diplôme
Magister
Titre
Conception d’un microcapteur de pression,d’humidité et de température en technologie MEMS.
Mots clés
Microsystèmes,MEMS,Micro-usinage,Multicapteurs,Membranes, simulation.
Résumé
Les microsystèmes( MEMS-Micro Electro-Mécanical-System) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions electroniques,mécaniques et optiques sur la même puce .
Statut
Vérifié
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