Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri
Affiliation
Département de Physique
Auteur
MEZEGHRANE, Abdelaziz
Directeur de thèse
LAMROUS Omar (Professeur)
Filière
Physique
Diplôme
Doctorat
Titre
Caractérisation des plasmas froids d’hydrocarbures Azote/Méthane et Argon/ Méthane: Application aux dépôts de couches minces .
Mots clés
Décharge RF, plasma complexe,films nanosttructurés et méthode de la cavité résonante .
Résumé
La formation de poudres a été observée dans divers proccédés plasmas de décharge , et plus particulièrement ceux utilisant des gaz réactifs tels que le méthane, l’acétylène ou encore le silane .
Statut
Vérifié