Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Sidi Bel Abbès - Djillali Liabes
Affiliation
Département d’Electronique
Auteur
BEY, Mehdi
Directeur de thèse
MANSOURI SEDDIK (Maitre de conférence)
Filière
Electronique
Diplôme
Magister
Titre
Etude des nano tubes et nano plots réalisés par implantation ionique des semi-conducteurs ionisés
Mots clés
GaN, nano plot, nanotube, trace latente
Résumé
lors de l’implantation ionique nous bombardons la surface du semiconducteur par des ions. l’impacte de l’ion avec la surface induit un transfert d’énergie transportée par l’on vers le réseau cristallin du semiconducteur, selon l’épaisseur du semiconducteur et l’énergie de l’ion, ce dernier peut soit traverser le semiconducteur en laissons derrière lui un canal (nano tube) soit il reste piégé dans le volume du semiconducteur en créant un gonflement du semiconducteur à l’endroit de l’impact( nano plot). Notre travail consiste à caractériser les nano tubes et les nano plots résultant de l’implantation en utilisant le microscope à force atomique et le microscope électronique à transmission.
Notes
ok
Statut
Vérifié
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