Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Sétif 1 - Ferhat Abbas
Affiliation
Département de Physique
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
Etude de Mixage Ionique du Système Ni/Si
Mots clés
Mixage ionique_ Système Ni-Si _ Technique RBS_ Couche mince
Résumé
L’étude de l’interaction métal-Silicium est d’une grande importance, particulièrement dans les application des siliciures dans la technologie des circuits intégrés. Le travail de recherche portera sur le système Ni-Si et consistera à étudier le phénomène de mixage des atomes de Ni et de Si induit à l’interface par bombardement ionique de faisceaux de gaz inerte tels que Ar+ et Kr+. L’analyse de mixage ionique du système Ni-Si sera effectuée à l’aide de la technique RBS ( Rutherford Backscatting Spectrometry) au prés de l’accélérateur VDG du CRNA. La nature de la structure des composes formes à l’interface seront également étudiées. * Equipements nécessaires : Système de déposition de couches minces Accélérateur de particules VDG Implanter d’ions Système de diffraction X.
Statut
Vérifié