Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Sétif 1 - Ferhat Abbas
Affiliation
Département de Mécanique de Précision
Auteur
CHARGUI, Fouzia
Directeur de thèse
D.BOUZID (Professeur)
Co-directeur
M.HAMIDOUCHE (Professeur)
Filière
Optique et Mécanique de Précision
Diplôme
Magister
Titre
Caractérisation des surfaces optiques obtenues par le polissage chimique
Résumé
ssage mécano-chimique est très utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs car c’est un excellent procédé pour aplanir des surfaces à très petite échelle. Les défauts observés sont de l’ordre de dizaine de nanomètres, ce procédé fait intervenir un grand nombre de paramètre ,on peut ressortir deux grands aspects, tout d’abord une transformation chimique de la surface de cuivre en oxyde de cuivre dont les propriétés physique et mécanique facilitent l’enlèvement de matière par abrasion mécanique à l’aide des particules d’alumine en solution. La couche superficielle de cuivre est transformée sous l’action des oxydants présents dans les slluries. Le cuivre se transforme en oxyde de cuivre (Cu2O) dont l’épaisseur de cette couche est de l’ordre de quelque nanomètre. Le Cu2O qui a des propriétés mécaniques et physiques différentes, c’est justement ces différences qui vont rendre plus facile l’enlèvement de la couche d’oxyde par rapport à la couche de cuivre. L’enlèvement de matière dépend de l’épaisseur de la couche d’oxyde, cette épaisseur dépend de la durée qui permet l’action chimique et donc la formation de la couche d’oxyde, par ailleurs la concentration en oxydant influe considérablement sur l’épaisseur de la couche d’oxyde donc de faible concentrations en oxydant donnent des faibles épaisseurs et des fortes concentrations donnent des épaisseurs plus importantes. La nature d’oxydant a aussi une influence remarquable sur l’épaisseur de la couche d’oxyde, donc sur la vitesse d’enlèvement de matière ainsi que sur l’état de surface obtenue après avoir effectuer un polissage pendant la même durée pour les deux sortes d’oxydants, pour le peroxyde d’hydrogène on trouve un état de surface meilleur que celui obtenue par le nitrate ferrique par contre la vitesse d’attaque de ce dernier et plus grande que celle de peroxyde d’hydrogène . La concentration des grains abrasifs qui sont à l’ origine de l’enlèvement de matière et la durée de polissage influent sur la vitesse d’attaque (quantité de matière enlevée) de la couche d’oxyde ainsi que sur le wafer en silicium, l’augmentation de la concentration des abrasifs et la durée de polissage va augmenter la quantité de matière enlevée.
Cote
TH699
Pagination
71
Illusatration
fig en coull
Notes
ce forme cd
Statut
Soutenue