Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Ouargla - Kasdi Merbah
Affiliation
Département de Physique
Auteur
Ben Mabrouk, Lazhar
Directeur de thèse
Khelfaoui, F. (Docteur)
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
Etude des spectres d’emission d’ions de déposition sur couches minces
Mots clés
Spectroscopie des plasmas; Couches minces; Analyse spectrale
Résumé
Dans le cadre de caractérisation de plasma de décharge nous avons réalisé une étude numérique sur des spectres expérimentaux émis par le plasma lors de déposition sur couches minces de silicium. L’objectif recherché est la détermination de la température éléctronique et de la densité éléctronique d’un plasma de décharge provoquée dans l’hélium pur avec une pression de 0.1 mb, une puissance RF (100-400 w) et pour les positions(x = 0, x = 3 et x = 5 cm). les profils de raies et la connaissance de l’etat d’équilibre thermodynamique...........
Date de soutenance
2003
Cote
TH1.4040
Pagination
85 p.
Illusatration
schem., tabl.
Format
30 cm.
Notes
Support papier accompagné d’un CD-Rom
Statut
Traitée