Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Ouargla - Kasdi Merbah
Affiliation
Département de Physique
Auteur
عبيد, سعيدة
Directeur de thèse
خلفاوي فتحي (أستاذ محاضر)
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
دراسـة في ثلاث أبعـاد للمقـاديـر الكهربـائية في جهـاز الـرش المهبطـي المغنطرونـي باستعمال طريقـة الحجـوم المنتهيـة
Mots clés
البلازما, الرش المهبطي, الخصائص الإحصائية , الخصائص الكهربائية, طريقة الحجوم المنتهية
Résumé
يهتم عملنا هذا بتحديد خصائص بلازما الأرغون Ar (الكثافة الإلكترونية–الكثافة الأيونية–الحقل الكهربائي–الكمون الكهربائي) المستعملة لتوضع طبقات السيليسيوم Siفي مهبط أسطواني. بالإعتماد على طريقة الرش المهبطي المغنطروني المغذى بمصدر جهد متناوب RFذو تردد مذياعي تواتره MHz13.56. استعملنا لحل هذه المسألة نموذج الموائع لنظام مستقر و في تناظر أسطواني. يعتمد نموذج الموائع على معادلة الاستمرارية (للإلكترونات و الأيونات) و معادلة بواسن. للحل العددي لهذه المعادلات التفاضلية إعتمدنا على طريقة الحجوم المنتهية و الطريقة التكرارية غوص-صيدل لحساب الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية. أما لحساب الحقل الكهربائي فاستعملنا الحساب المباشر. النتائج التي تحصلنا عليها للكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية أبدت توافقا مع نتائج أعمال أخرى. أما عن تأثير الحقل المغناطيسي و بعض الخصائص الماكروسكوبية فتبين لنا أن لهم دور كبير في الزيادة من خصائص البلازما خاصة الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية (بنسبة %23.63) وبالتالي زيادة مردود الرش المهبطي.
Date de soutenance
23/05/2012
Statut
Soutenue