Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Ouargla - Kasdi Merbah
Affiliation
Département de Physique
Auteur
AZZOUNI, Mohammed
Directeur de thèse
KHALFAOUI FATHI (Professeur)
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
ETUDE DE SPECTROSCOPIE ATOMIQUE ET MOLECULAIRE DANS UN PULVERISATEUR CATHODIQUE MAGNETRON
Mots clés
des pics nous permet de calculer le taux de chaque espèce (d‘atomes ou d‘ions) dans le plasma
Résumé
Dans ce mémoire nous nous intéressons à l’étude de la spectroscopie de quelques atomes, ions, molécules et radicaux moléculaires dans des plasmas lors de l’élaboration des couches minces. Nous modélisons le rayonnement émis par le plasma dans le pulvérisateur cathodique magnétron et nous déterminons la caractérisation de plasma en termes de densité électronique et de température de plasma. Nous présentons les différentes techniques pour le dépôt des films minces, telle que la pulvérisation magnétron radiofréquence. Nous présentons, aussi, les plasmas et les divers mécanismes responsables des élargissements de raies. Nous présentons une description des méthodes de caractérisation de plasma comme spectroscopie d’émission optique (OES) afin de déterminer les espèces émissives présentes dans le plasma et de comprendre leurs réactivités. L’élargissement expérimental est dominant. Le calcul donne une estimation des températures des neutres et des ions et des densités électroniques (Te≈3,1 eV et ne ~10+12 cm-3). Les résultats montrent que le plasma est hors équilibre thermodynamique. Le calcul des rapports entre les intensités des pics nous permet de calculer le taux de chaque espèce (d‘atomes ou d‘ions) dans le plasma.
Date de soutenance
20/03/2013
Statut
Soutenue