Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Laghouat - Amar Telidji
Affiliation
Département de Génie des Matériaux
Auteur
BENYOUCEF, Djillali
Directeur de thèse
Belmadani Djamel (Docteur)
Filière
Génie des matériaux
Diplôme
Magister
Titre
Modélisation d’une décharge luminescente : Aspect microscopiques
Mots clés
Décharges luminescentes : Modèles mathématiques; Monte-Carlo, Méthode de
Résumé
Ce travail est consacré à la modélisation des décharges luminescentes (radiofréquences). Ces décharges sont stabilisées par parois. Après avoir exposé les processus élémentaires qui prennent naissance dans la décharge, ainsi que les états du plasma, on donne une description générale de la décharge radiofréquence et ses applications en micro-électronique, à travers la micro-gravure et les dépôts des couches minces. On s’intéresse tout particulièrement à la modélisation microscopique. La simulation des trajectoires des particules chargées par la méthode de Monte Carlo, qui est l’objet de notre travail, demande seulement la connaissance des sections efficaces de différentes collisions, et on peut estimer tous les paramètres macroscopiques. L’application de la simulation par la méthode de Monte Carlo d’une décharge luminescente radiofréquence à un gaz électropositif (argon basse pression), permet de prédire les caractéristiques et les propriétés générales de ce type de décharge
Date de soutenance
2002
Cote
TH1.3980
Pagination
85 p.
Illusatration
graph., schem.
Format
30 cm.
Notes
Support papier accompagné d’un CD-Rom
Statut
Traitée