Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Boumerdès - M’hamed Bougara
Affiliation
Département Génie des Matériaux
Auteur
BENYAGOUB, Hicham amgir
Directeur de thèse
BENAZZOUZ Chawki (Docteur)
Filière
Génie des matériaux
Diplôme
Doctorat
Titre
Etude des interdiffusions aux interfaces des systèmes binaires cu/Ti/Si et PD/Ti/Si sous l’effet de l’implantation ionique
Mots clés
Systèmes binaires M1/M2/Si;mplontation ionique ;Technique de caractérisation (RBS,MEB,DRX,AFM,micro RBSet sounde AU GER)
Résumé
Etude de l’interdiffusion aux interfaces des couchees-minces M1/M2 sur de silicieum monocristallin d’orientation (111) et(100) non implonté puis implonté en fonction des recuits théramiques comme le cuivre (cu) est connu comme diffuseur potentiel dans le silicium l’idée est d’interposer un métal entre le cuivre et le silicum jaiant ainsi le role d’une barrière afin d’augmenter la stabilité des systèmes tels que les contacts ohuniques les systèmes étudiés sont cu/Ti/Si et PD/Ti/Si
Statut
Vérifié