Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Béjaia - Abderrahmane Mira
Affiliation
Département de Physique
Auteur
Djamel, Madi
Directeur de thèse
Boubekeur, Birouk (Docteur)
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
Adaptation d’un modèle théorique pour simuler l’oxydation thermique sèche du silicium polycristallin
Mots clés
Oxydation thermique, silicium polycristallin
Résumé
Le but de ce travail est la simulation, aussi fidéle et precise que possible, du processus de thermo-oxygene sec à pression atmospherique, des films Si-LPCVD fortement dopés in-situ au bore. Pour ce faire une meilleure comprehension des cinetiques d’oxydation et des mecanismes qui les gouvernent dans le cas du silicium monocristallin est necessaire. Il est donc primordial pour atteindre ce but de mettre en oeuvre des etudes pretiques et theoriques. Cela concerne en particuliers les operations suivantes: Caracterisation structurale et comportement electrique des films de silicium polycristallin et presentation des cinétiques experimentales d’oxydation thermique. Analyses des diverses etudes theoriques de modélisation de l’oxydation et élaboration du programme informatique de simulation. Etude et comparaison de l’evolution, en fonction des parametres de l’oxydation du monosilicium et du polysicium.
Date de soutenance
2003
Cote
530M/57
Pagination
77 f.
Illusatration
figr.
Format
30 cm
Notes
Bibliogr.
Statut
Soutenue