Mémoires de Fin d’Etudes
Etablissement
Université de Batna 1 - Hadj Lakhder
Affiliation
Département de Physique
Auteur
Babahani, Oum El Kheir
Directeur de thèse
KHELFAOUI Fethi (Maitre de conférence)
Filière
Physique
Diplôme
Doctorat
Titre
Simulation numérique par la méthode de monte Carlo de la déposition de couche minces par procédés CVD
Mots clés
Propriétés statistiques, propriétés fuildes , déposition , couche mince , silicium simulation numérique , méthode de Monte Carlo
Résumé
On s’intéressera à l’étude de la déposition de la couches minces par procédés CVD et PECVD En plus du comportement fluide,On utilise la méthode de Mote Carlo comme technique de simulation, pour l’étude de l’interaction entre des ions du plasma
Statut
Vérifié