Auteur
Djemaa, Asma épse. Abderrahim
Directeur de thèse
Kechouane, M. (Professeur)
Filière
Physique
Diplôme
Magister
Titre
Étude de structures pillars réalisées sur silicium par ablation laser : Application à la détection de gaz
Mots clés
Silicum : Oxydation anodique ; Irradiation ; Dépôt par laser pulsé
Résumé
L’objectif de mon travail, est d’étudier et de caractériser la morphologie de la surface du silicium en fonction de la durée d’impulsion laser KrF (248 nm). On a constaté que les micro-colonnes de silicium augmentent rapidement avec le nombre de tirs laser. Nous avons montré que la PL et la réflectance diffuse dépendent fortement du nombre de tirs laser. Le spectre de réflectance diffuse indique que la rugosité de la surface des pillars de silicium évolue avec la dimension des pillars (hauteur de la base ...). Il possible de porosifier le silicium résistif où les pillars de silicium avec une solution de HF/AC. De plus, la réalisation de dispositifs de type Al / Pillars de silicium /Si montre qu’ils peuvent être de bons candidats pour les capteurs de gaz.
Date de soutenance
22 / 11 / 2010
Cote
620.193
Pagination
101 p.
Illusatration
ill.
Format
30 cm.
Notes
Support papier accompagné d'un CD-Rom ; Bibliogr. p. 97-101
Statut
Traitée